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詳細(xì)摘要： 微型PECVD系統(tǒng)，它包括小型真空管式爐，石英真空室、真空抽氣與真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、物料噴射系統(tǒng)。電源范圍寬：0-100W可調(diào)； 溫度范圍寬：...

詳細(xì)摘要： 非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)1.前驅(qū)體灌溫度可達(dá)400℃；2.溫度獨(dú)立可調(diào)；3.固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體在一定溫度下蒸發(fā)后通過惰性氣體帶入反應(yīng)區(qū)域參與的一些CVD反應(yīng)。

詳細(xì)摘要： 回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備1、本設(shè)備提供一個五溫區(qū)的超長溫場，五個溫區(qū)可獨(dú)立控制2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理，上下可電動開啟。3、流量計和加熱采用模塊化設(shè)計，便于維護(hù)...

詳細(xì)摘要： 搖擺爐BTF-1200C-SK1.，30段可編程精密溫度控制器2.可根據(jù)不同的客戶需求來設(shè)定升降溫程序3.可設(shè)定取放料工位4.設(shè)定搖擺起始工位（如橫向作為起始工...

詳細(xì)摘要： 該款設(shè)備是全自動Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD），連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等，配備真空系統(tǒng)，可以低壓條件下實現(xiàn)工藝，PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔...

詳細(xì)摘要： 1.該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻；2.可左右大角度傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間。3、廣泛應(yīng)用于電池正負(fù)...

詳細(xì)摘要： 該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長或者線性材料的連續(xù)的設(shè)備，此款設(shè)備是快速冷卻卷對卷CVD連續(xù)生長爐，它由高溫生長腔體，三路質(zhì)量流量計氣路系統(tǒng)，真空機(jī)組，石...